目次
 
1.緒言…………………………………………………………………………………………… 1
  1.1 研究の目的と動機 …………………………………………………………………… 1
  1.2 研究の背景 …………………………………………………………………………… 3
  1.3 油回転ポンプの特性と問題点 ……………………………………………………… 7
  1.4 研究の経過…………………………………………………………………………… 10
  1.5 研究の構成…………………………………………………………………………… 16
 
2.実験的研究 ………………………………………………………………………………… 19
  2.1 差動排気を用いた残留ガス分析…………………………………………………… 21
    2.1.1 実験装置……………………………………………………………………… 29
    2.1.2 実験手順……………………………………………………………………… 31
    2.1.3 実験結果……………………………………………………………………… 36
  2.2 水晶振動子による付着量の評価…………………………………………………… 58
    2.2.1 実験装置……………………………………………………………………… 61
    2.2.2 実験手順……………………………………………………………………… 61
    2.2.3 実験結果……………………………………………………………………… 64
  2.3 実験結果のまとめ…………………………………………………………………… 70
 
3.解析的研究 ………………………………………………………………………………… 75
  3.1 Monte Carloシミュレーションによる解析 ……………………………………… 75
  3.2 拡散による解析……………………………………………………………………… 86
  3.3 蒸気圧力差による解析……………………………………………………………… 95
  3.4 解析結果のまとめ ………………………………………………………………… 105
 
4.結論………………………………………………………………………………………… 108
 
5.謝辞………………………………………………………………………………………… 111